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SEZ集團Da Vinci清洗設備獲韓存儲器商訂購
來源: fbe-china.com作者: EM Asia China時間:2019-10-24 13:25:14點擊:5758

歐洲單晶圓濕法清洗制程設備供應商SEZ Group日前宣布,一家來自韓國的存儲器制造商已向SEZ訂購了多套其Da Vinci(TM)系列清洗設備.該客戶經過初步的試用,對該設備的性能非常滿意,從而發出了這份價值不菲的訂單.據悉,這些設備搭載了SEZ先進的稀釋過氧化硫(DSP+)化學試劑,將被用于采用90nm制程、在300mm和200mm晶圓上制造的存儲器器件的生產線后段聚合物去除工藝. 獲得該訂單對SEZ來說可謂是里程碑式的勝利,因為這代表著SEZ進入了該存儲器制造商的生產線后段的清洗制程,同時加強了SEZ在韓國的市場地位.這在某種程度上也表明,包括韓國的制造商在內,半導體行業主要制造商從批處理濕法制程轉向單晶圓濕法制程的步伐在繼續加快,因為后者實現了更為復雜的小尺寸集成電路制造所要求的日益嚴苛的表面污染控制,能夠為客戶提高成品率,降低成本. SEZ亞太區首席運營官Herwig Petschng指出,此次能夠贏得該頂級存儲器制造商客戶的認可并為其提供設備,對SEZ來說意義重大.這不僅意味著我們在韓國市場又獲得了一個新的客戶,也進一步證明我們的Da Vinci系列產品在性能和擁有成本兩方面都能滿足客戶的需求. 據悉,自SEZ在2003年推出Da Vinci系列清洗設備以來,該產品已獲得了業界的廣泛認可,截至2006年第四季度累計出貨量已突破140臺.Da Vinci平臺是SEZ與其關鍵客戶通過緊密合作開發出的產品,采用了一種靈活的多腔構架,占地面積小,吞吐量大,準確度高.特別是該系統采用了DSP+這樣的酸性水溶配方,清洗效果有了很大的改進,順應了器件電路尺寸縮小和新產品面世時間縮短的趨勢. 目前,SEZ在韓國有30臺以上的使用DSP+化學試劑的Da Vinci設備在各制造商的生產線上運行.SEZ在韓國單晶圓清洗設備市場處于領先地位,而韓國市場對SEZ來說也是至關重要.2005年,來自該市場的收入翻了一番;2006年,SEZ在該地區的銷售額占據了公司銷售總額的約15%.

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